谈谈安捷伦分子泵的各项特点

　　安捷伦分子泵是一种高速旋转的机械泵，因此对平衡的要求很高，对固体异物非常脆弱，通常要在分子泵的入口处安装金属过滤网。分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。常规的分子泵使用轴承来确保叶片的高速旋转。新型的分子泵采用磁悬浮构造，使得叶片转速不断提高的同时，更使分子泵适合超高真空系统，也延长了分子泵的使用寿命。

　　安捷伦分子泵的各项特点：

　　1、清洁无油蒸汽返流

　　干式操作：分子泵可以在无任何润滑油的情况下运行，从而为被抽容器提供一个极为清洁的真空环境。

　　消除碳氢化合物：现代涡轮分子泵通过采用空气轴承或磁悬浮轴承技术，完q杜绝了油蒸汽返流的问题，确保了工作环境中不含有任何碳氢化合物。

　　2、使用方便

　　简单启动：涡轮分子泵只需按电钮即可开始工作，无需高真空或粗真空阀，可以从大气压力降z极限压力。

　　灵活安装：涡轮分子泵的安装方向不受限制，可在任意方向安装，占用空间小，适用于安装位置受限的地方。

　　3、气体输送能力强

　　轻气体输送：大多数涡轮分子泵对轻气体（如氢、氦）的输送能力很强，特别适用于超高真空下的工艺操作。

　　耐腐蚀设计：有专门设计的涡轮分子泵用于抽除腐蚀性气体，适用于刻蚀、反应离子刻蚀等工艺操作。

　　4、超高真空应用的适用性

　　高极限真空：一台密封良好的涡轮分子泵，配以性能良好的前级泵，其极限真空可达到10^-10 Torr（即13.33 nPa）之间。

　　满抽速运转：与低温泵或离子泵不同，涡轮分子泵在超高真空条件下仍能满抽速运转，这使它在高分辨率质谱仪等设备上得到广泛应用。

　　5、高压力下性能良好

　　稳定性强：某些涡轮分子泵的入口压力可在10^-3^至10^-10^Torr（即13.33 Pa至13.33μPa）之间运行，在这个压力范围内，其他类型的泵会变得不稳定。

　　6、循环时间短

　　快速启动停止：多数涡轮分子泵在较短时间内（大约3分钟）即可达到正常运行速度，并且能立即关闭并暴露于大气压，这种快速循环特性在样品输入系统中非常有用。

　　7、使用寿命长

　　抗重气体负荷和阀门漏气：在重气体负荷和阀门漏气的情况下，涡轮分子泵的使用时间要比其它泵更长，且不会因泵油污染真空室。