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安捷伦分子泵结构通常包括以下几个主要组成部分
更新更新时间:2023-10-22 浏览次数:897
安捷伦分子泵是一种高速旋转的机械泵,因此对平衡的要求很高,对固体异物非常脆弱,通常要在分子泵的入口处安装金属过滤网。分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。常规的分子泵使用轴承来确保叶片的高速旋转。新型的分子泵采用磁悬浮构造,使得叶片转速不断提高的同时,更使分子泵适合超高真空系统,也延长了分子泵的使用寿命。
1、泵体:泵体是分子泵的主体部分,通常由不锈钢等材料制成。它包含了泵的内部结构和各种组件。
2、轴向压缩器:轴向压缩器位于泵体的入口处,用于提高气体的压力,并将其引导到分子泵的转子。
3、离心压缩器:离心压缩器安装在轴向压缩器后面,其作用是进一步增加气体的压力并使其达到更高速度。
4、分子转子:分子转子是分子泵的核心部件,由多个旋转的叶片组成。当气体经过转子时,分子与叶片碰撞,并被推向泵的出口方向。
5、静态定子:静态定子环绕着分子转子,它们的形状和间隙与分子转子相匹配,以确保良好的密封性能。
6、冷阱:冷阱通常位于分子泵的出口处,用于捕获和冷凝未被抽取的气体或蒸汽分子。
7、控制系统:分子泵还包括一个控制系统,用于监测和控制泵的运行状态,如转速、温度和压力等参数。