真空泵的介绍及分类

真空泵是利用机械、物理、化学、物理化学等方法对容器进行抽气，以获得和维持真空的装置。真空泵和其他设备(如真空容器、真空阀、真空测量仪表、连接管路等)组成真空系统，广泛应用于电子、冶金、化工、食品、机械、医药、航天等部门。真空泵按结构类型可分为机械式，喷射式和吸着式，凡是利用机械运动来获得真空的泵称为机械真空泵。按其工作原理及机构特点分为变容真空泵和动量传输泵，变容式真空泵是利用泵腔容积的周期性变化来完成吸气和排气以达到抽气目的的真空泵。这种泵分为旋转式和往复式两种，旋转式真空泵利用泵腔内转子部件的旋转运动将气体吸入、压缩并排出，主要有有以下4 类：(1)液环真空泵；(2)油封式真空泵；(3)干式真空泵；(4)罗茨真空泵。液环真空泵将带有多叶片的转子偏心装在泵壳内。当它旋转时，把工作液体抛向泵壳形成与泵壳同心的液环，液环同转子叶片形成了容积周期变化的几个小的旋转变容吸排气腔。工作液体通常为水或油，所以亦称为水环真空泵或油环真空泵。用水作工作液，极限压强只能达到2000~4000 Pa。用油作工作液，可达130 Pa.

机械真空泵分类

2、油式旋片真空泵机构与工作原理

　　油式旋片真空泵主要由定子、转子、旋片、定盖、弹簧等零件组成。在泵腔内偏心地安装带有旋片的转子，转子槽中装有旋片。转子和旋片将定子腔分成吸气和排气两部分。当转子在定子腔内旋转时周期性地将进气口方面容积逐渐扩大而吸入气体，同时逐渐缩小排气口一侧的容积将已吸入的气体压缩并从排气口排出[4]。旋转时将真空泵油抛向泵壳形成于泵壳同心的油环，油环同转子叶片形成了容积周期变化的几个小的旋转变容吸排气腔。图2 所示为油式旋片泵的工作原理示意图，泵其结构是利用偏心地装在定子腔内的转子(转子的外圆与定子的内表面相切两者之间的间隙非常小)和转子槽内滑动的借助弹簧张力和离心力紧贴在定子内壁的两块旋片，当转子旋转时，始终沿定子的内壁滑动。